在精密測量的世界裏,白光幹涉儀猶如一顆璀璨的明珠,以其特殊的測量原理和廣泛的幹涉測量技術應用,為眾多領域帶來了高精度的測量解決方案。
白光幹涉儀的測量原理基於光的幹涉效應。當兩束或多束相幹光疊加時,會產生幹涉現象。該儀器通過分光鏡將白光分成兩束,一束作為參考光,另一束通過待測樣品。這兩束光在光路中傳播後,再經過反射等操作重新會合,由於它們在傳播過程中可能經曆了不同的光程,最終發生幹涉。通過檢測幹涉條紋的分布和變化,就可以計算出待測樣品表麵的形貌、高度變化等信息。
幹涉測量技術在微觀領域有著重要應用。在半導體製造中,芯片的表麵平整度對於其性能至關重要。它能夠精確測量芯片表麵的微小高度變化,幫助工程師確保芯片的質量和性能。例如,在光刻工藝中,高精度的幹涉測量可以保證圖案的準確轉移。
在光學元件加工方麵,幹涉測量技術也發揮著至關重要的作用。對於鏡片、鏡頭等光學元件,其曲率、透鏡厚度等參數的精度直接影響成像質量。白光幹涉儀可以無損、高精度地測量這些參數,指導加工過程,確保光學元件達到嚴格的設計要求。
此外,在生物醫學領域,幹涉測量技術為研究細胞和組織的微觀結構提供了新的方法。通過測量細胞表麵的幹涉圖案,可以獲取細胞的形態和機械特性等信息,有助於疾病的研究和診斷。
白光幹涉儀圖片展示

隨著科技的不斷發展,白光幹涉儀的測量原理和幹涉測量技術將不斷拓展和完善。在未來的各個領域,它們必將繼續發揮重要作用,推動科學研究和工業生產的不斷進步。