PicoFemto透射電鏡原位高溫力學測量係統

澤攸透射電鏡原位高溫力學測量係統，同時集成了力學測量模塊及MEMS芯片模塊，可以在對樣品1000 ℃加熱的同時進行定量的力學測量。MEMS芯片模塊上可以選擇加熱芯片，也可以選擇電學測量芯片。力學測量模塊可以選擇不同載荷的傳(chuan) 感器，滿足不同實驗需求。

該產(chan) 品實現了透射電鏡中的高分辨定量原位高溫力學研究。

澤攸透射電鏡原位高溫力學測量係統

性能指標

透射電鏡指標：

● 兼容指*電鏡型號及極靴；

● 部分型號電鏡可選雙傾(qing) 版本，雙傾(qing) 電學測量樣品杆Y軸傾(qing) 角±25°;（同時受限於(yu) 極靴間距）；

力學傳(chuan) 感器指標：

● 最大載荷100 mN（可選0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN）；

● 力測量實測噪聲優(you) 於(yu) 5nN（0.1 mN最大載荷時）；

● 力測量實測分辨率優(you) 於(yu) 5 nN（0.1 mN最大載荷時）；

● 自動測量力-距離曲線，自動保存。

加熱指標：

● 溫度控製範圍：室溫至1000 ℃；

● 溫度準確度：優(you) 於(yu) 5%；

● 溫度穩定性：優(you) 於(yu) ±0.1 ℃。

掃描探針操縱指標：
● 粗調範圍：X方向 1.5 mm，YZ 方向2 mm；
● 細調範圍：XY 方向20 um，Z 方向 10 um；
● 細調分辨率：XY 方向 0.4 nm，Z 方向 0.2 nm。

產(chan) 品特色

（1）很大力學測量及溫度控製範圍；

（2）多場下的力學研究；

（3）穩定性高：輕鬆獲得大幅度運動中的高分辨像，適用於(yu) 更廣泛的應用場景和樣品體(ti) 係；

（4）很長的壽命